層流潔淨工作台檢驗標準JG/T 19-1999 標準編號：JG/T 19-1999 標準 狀態：已廢止
本標準主要適用於層流潔淨工作台。其他局部淨化設備可參照本標準進行檢驗。
術語
1.1 局部淨化設備
是使在特定的局部空間的空氣含塵濃度達到每升空氣中≥0.5μm的粒子數≤3.5 粒的空氣潔淨度等級的設備稱局部淨化設備。它是由高效空氣過濾器等組成的淨化機組，如潔淨工作台、潔淨幹燥箱、潔淨層流罩潔淨自淨器等。
1.2 氣溶膠
是由懸浮在氣體中的固體或液體微粒所組成的懸浮體係。
2 技術要求
2.1 檢漏
潔淨工作台安裝後必須經受氣溶膠的泄漏檢驗和誘人檢驗。按照3.1.1.2進行試驗時，縫隙下遊側濃度超過上遊側濃度的0.01%，則視為有明顯泄漏。
2.2 操作區潔淨度
按照3.2進行測試，其潔淨度≥0.5μm粒子必須≤3.5粒/L，不準許有≥5μm粒子。
2.3 風速
按 照 3. 3 進行測試時，操作區平均風速應在0.3 -0.6 m /s範圍內。如有特殊要求，由用戶與廠家另行商訂。每個測點應在平均風速的士20%範圍內。
2.4 噪聲
按 3. 5 進行測試，噪聲不得超過65dB(A聲級)，如有特殊要求由用戶與廠家商訂。
2.5 振動
按 3. 6進行測試，操作台三個軸向(x、y、z)振幅均不得超過5μm。如有特殊要求，用戶與廠家另行商訂。
2.6 照明
按 3. 7 進行測試，操作台麵平均照度不得小於300lx。光線應均勻、柔和，避免光。如有特殊要求由用戶與廠家另行商訂。
2.7 構造
2.7.1潔淨工作台板壁表麵不得生鏽和剝落。對操作台麵有耐酸耐腐蝕要求時，應采用耐酸材料或不鏽鋼材料。
2.7.2所配用的高效空氣過濾器應是經測試合格的。在一般空氣環境中使用不應變質和腐蝕。
2.7.3高效空氣過濾器的安裝密封墊，要注意選用不易老化的材料，以免引起泄漏，並應易於維護和更換。
2.7.4各部件配合緊湊合理牢靠，各門板、護板、蓋板的邊緣及縫隙不均勻度應符合機械裝配要求。
2.7.5 螺釘螺帽應無鏽蝕、滑絲現象，螺釘開口槽應無裂口傷痕。
2.7.6 機箱焊接應符合一般焊接通用技術條件的要求，不得有燒穿、漏孔、裂縫等缺陷。
2.7.7當潔淨工作合在產生易燃易爆物質的房間中運行時，風機和電氣設備均應為防爆性或設有防電火花措施。
2.7.8當潔淨工作台在酸、有機溶劑、生物粒子等情況下進行操作時，其構造必須是能把含有這些汙物的空氣直接或經處理後排出室外。
2.8 電氣係統
2.8.1門絕緣阻抗
按 3. 8 進行絕緣測試，其絕緣電阻應在2MΩ以上。
2.8.2 耐電壓
按 3. 9 進 行耐電壓測試時不得有擊穿和閃絡現象。
2.8.3電器裝配要求
2.8-3.1 電氣係統的主要部件按現行國家標準和機械工業部標準來配置。主要部件的安裝應不遮擋或擾亂工作區內的氣流並使潔淨工作台運行安全可靠。
2.8-3.2 電動機選擇應符合GB 755-81((電機基本技術要求》。
2.8.3.3 照明宜選用熒光燈。熒光燈座和起輝器的選擇應符合GB 1312-77((熒光燈座和起輝器座》標準。
2.8-3.4 開關和指示燈應設置在操作人員容易操作和觀察的地方。應符合GB 4053.3-83《電工成套裝置中的指示燈和按鈕的顏色》標準。
2.8-3.5 選用導線應符合有關規定
2.8.3.6 電氣係統應根據負荷大小裝保險絲或熔斷器。電氣係統的主要部件及淨化設備的殼體應可靠接地。
2.8-3.7 電氣係統的接線圖應貼在潔淨工作台上。
2.8.3.8 電氣元件、部件、接插件應裝配牢靠，布線合理、整齊，焊點光滑，無虛焊，無錯。
3、檢驗方法
3.1 檢漏
檢漏包括泄漏測試和誘人測試。泄漏是指高效空氣過濾器上遊側氣溶膠，未經過濾，通過過濾器孔洞或安裝不嚴形成的縫隙漏至過濾器下遊側的現象;誘人是指潔淨工作台箱體外的氣溶膠，通過箱體縫隙或操作口而誘導進人操作區的現象(見圖1,圖2)
3.1.1泄漏測試
3.1.1.1儀器
采用檢漏裝置或同類型儀表。其性能要求
a 多分散DOP氣溶膠(冷煙)發生器，其濃度通常達80-100μg/L;
b 光度計，其對DOP氣溶膠(冷煙)濃度的測量範圍為0.001∼100μg/L。
3.1.1.2 測試方法
向高效空氣過濾器上遊側發DOP氣溶膠(冷煙)，同時用檢漏裝置的采樣器在下遊側距高效空氣過濾器出口約2.5 cm處進行掃描巡檢。采樣量為47.2X10ˆ5m³/s [28.3L/min]，巡檢速度錢5 cm/s。當下遊側濃度與上遊側濃度的比大於0.01%時，則認為有明顯泄漏，應進行堵漏。
3.1.2誘入測試
3.1.2.1 儀器
與3. 1. 1.1相同。
3.1.2.2 測試方法
在 潔 淨 工作台箱體連結縫外側和操作口邊緣外側所毗連的周圍環境中，發DOP氣溶膠(冷煙)然後用采樣器在連結縫內側和操作口邊緣內側巡檢。
a. 縫隙誘入測試
水 平 層 流潔淨工作台，應在距操作區壁麵3cm，距接縫5cm 的下遊處;而垂直層流潔淨工作台，應在距操作口上擋板內表麵5cm，距高效空氣過濾器出口或整流格板表麵10cm處進行巡檢當檢漏儀(光度計)的讀值超過台外讀值的0.01%時，則確認有氣溶膠誘人(見圖3、圖4)。必須進行堵漏。
b 外部誘入測試(操作口邊緣)
水平層流潔淨工作台，應在距開口處邊緣往裏5c m，距壁內表麵3c m處(見圖5);而垂直層流潔淨工作台，應在距前擋板下邊緣往上5cm，距前擋板內表麵3 cm處以及距台麵回風柵板邊緣往裏10 cm,距回風柵板往上5 cm處(見圖6)進行巡檢。當檢漏儀(光度計)讀值超過台外讀值的0.01%時，則確認有氣溶膠誘入。
該項外部誘入測試僅適用新產品檢測。
3.2 潔淨度
3.2.1儀器
塵埃粒子計數器。
3.2.2測試方法
3.2.2.1 進行潔淨度測試時，吸風口處的氣溶膠濃度(對於≥0. 5µm的粒子)不得小於35 000粒/L,當吸風口處不能滿足上述指標時，宜在潔淨工作台吸風口處發多分散DOP氣溶膠。
3.2-2.2 當吸風口處的氣溶膠濃度達到穩定條件下，在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷麵的中心處(垂直層流潔淨工作台距操作台麵250 mm的中心處)連續測試5次，求其平均值。
3.2-2.3 操作區氣溶膠濃度測試盡量采用大流量(47.2X10ˆ5m³/s [28.3L/min])塵埃粒子計數器，也可采用小流量塵埃粒子計數器，但采樣量不得小於1L。
3.2.2.4 潔淨工作台吸風口處的氣溶膠濃度測試，需要在測試潔淨工作台操作區氣溶膠濃度的時間內進行，要測5次以上。
3.2-2.5 當測試時有)5 pm粒子出現時，應進行多次采樣，當其多次出現時，才認為該測試數值是可靠的。
3.2.3 可比工作環境條件下的操作區氣溶膠濃度計算:
3.2.4使用條件下操作區的潔淨度
潔淨工作台在使用條件下，不論其使用環境中的含塵濃度是多少，要按有關規定進行測試，並按操作區氣溶膠的實測濃度來評價操作區的潔淨度。
3.3 風速
3.3.1儀器
采用便攜式熱球電風速計或便攜式熱敏電阻恒溫風速計測試，所選用的儀器其誤差不大於被測量的±10%，風速計應按說明書中的要求進行標定。
3.3.2測試方法
3.3.2.1 把在主過濾器或擴散板下遊10 cm處的平麵的麵積分成不得少於十二等分的麵積，各麵積中心點即為風速測點(見圖7)。但各測點間距不應大於25 cm。
3.3.2.2將各測點風速值計算出截麵風速算術平均值。風速和風速均勻率應達到2.3中的規定。風速均勻率按下式計算:
3.4 終負荷條件下的風速測試
當 主 過 濾器阻力增加到約初阻力(即工作台設計風速下的阻力)二倍後，要求潔淨工作台操作區平均風速不得小於0. 3 m/s。該項測試適用於新產品。
3.4.1儀器及設備
3.4.1.1 風速計按3.3.1 規定選用。
3.4. 1.2 傾斜式微壓計，精度應不低於1級，標定應按JJG 172-76«傾斜式微壓計檢定規程»進行。
3.4.1.3 阻尼擋板采用冷軋碳素鋼板，其尺寸大小為該潔淨工作台上安裝的高效空氣過濾器的尺寸(長x寬)。將擋板均勻鑽孔，使鑽孔的擋板阻力加上高效過濾器的阻力約為高效過濾器的終阻力值(即終阻力達到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼層。
3.4.2測試方法
在 潔 淨 工作台的高效過濾器前、後處接人微壓計。在緊貼高效過濾器的上風側裝上鑽孔的擋板(擋板開孔加工麵的反麵應對著上風側)，安裝時應注意嚴密。
按3. 3. 2的測試方法，測定潔淨工作台操作區的風速。使平均風速應在所規定最小風速的±10%以內。
3.5 噪聲
3.5.1儀器
采用聲級計。儀器標定後應符合有關標準規定。
3.5.2測試方法
3.5.2.1 潔淨工作台的噪聲測點應布置在工作台中心，距台麵前沿20 cm處，高度為110 cm(相當操作人員坐著的耳部位置)，如圖8。其他局部淨化設備的噪聲測點應布置在距設備主要表麵幾何中心的水平距離100 cm，高度為150 cm處。宜四麵各測定一次，取四點算術平均值。如圖9。
15.2.2局部淨化設備應在正常運行條件下，測定A聲級及倍頻程值倍頻程的中心頻率範圍為63-8 000 Hz。對於出廠產品或現場檢驗(即維修後的設備)僅測試A聲級值，對於新產品還應測試噪聲倍頻程值。
3.5.2.3 測試噪聲的環境宜在室內比較開闊的、較硬實反射地麵上進行測量。傳聲器附近1 m的範圍內，不應有其他反射物。設備操作區開口處，若設有擋板應全部開啟，特別注意避免氣流產生的風壓、電磁場、振動等給測量帶來的影響
3.5.2.4當實測噪聲值與背景噪聲值的差值，大於或等於10 dB(A聲級)時，表示實測噪聲值有效;為6-9 dB(A聲級)時，應將實測噪聲值結果減去1 dB;為4-5 dB時，應減2 dB;當小於3 dB時，則測量無效。
15.2.5測定潔淨工作台的A聲級值應達到2.4 中的規定。
3.6 振動
3.6.1儀器
應是具有2∼500Hz的振動頻率，位移為0.1µm∼1.5mm，加速度為0.01g∼10g的振動分析計。
儀器校準應按照說明書的要求進行。
3.6.2測試方法
3.6.2.1 當潔淨工作台在正常運行條件下，將振動分析計的拾振器置於操作麵的幾何中心處，測出x,Y,Z三個軸向的總振幅值。
3.6.2.2 被測試的潔淨工作台應放置在振動比較小的地麵上進行。在測試過程中應避免周圍環境的影口向。
3.6.2.3 三個軸向的振幅值均應達到2.5中的規定。
3.7 照明
3.7.1儀器
采用攜帶式照度計，應按說明書的要求進行校準。
3.7.2測試方法
測 點 布 置在潔淨工作台橫向的中心線上，均勻布置三點，取算術平均值作為潔淨工作台的照度。其照度應達到2. 6中的規定。
3.8 絕緣阻抗
3.8.1儀器
采用500v 的兆歐表。
3.8.2測試方法
參 照 GB 998-67(低壓電器基本試驗方法》和JB 617-65《低壓配電屏技術條件》標準。測量電器及接線部分對工作台金屬結構之間的絕緣電阻
3.9 耐電壓測試
參 照 JB 617-65有關規定，將工作台的電器絕緣部分加1000v 工頻持續1min，查有無擊穿和閃絡現象。
4 檢驗報告的編寫
4門各項檢驗應按下列表格進行檢測記錄和整理。
表 1 潔 淨工作台銘牌登記表;
表 2 潔 淨度實測記錄表;
表 3 風 速實測記錄表;
表 4 噪 聲實測記錄表;
表 5 振 動實測記錄表;
表 6 照 度實測記錄表。
4.2 對特殊測試項目，可根據具體情況按需要進行並記錄和整理。
