半導體廠淨化車間特性決定其製造過程必須有潔淨度要求，半導體廠潔淨棚定製要求百級潔淨棚，百級潔淨棚是一種簡易的潔淨室，可快速提高區域潔淨度的設備。以工業鋁材（或不鏽鋼方通、鐵方通烤漆）作為框架，采用滿布風機濾網機組FFU送風，四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），內部淨化級別可達百級，潔淨棚由於其低成本、方便快捷、靈活組裝，廣泛用於光電、電子流水線作業、實驗室、組裝區域等局部高潔淨度場合。
百級潔淨棚的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。正是因為這樣，所以百級潔淨棚的頂部必須滿布高效過濾器送風單元，而且必須通過風淋室進出。
百級潔淨棚利用HEPA級高效過濾器過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
百級潔淨棚工作原理：
要使內部淨化級別達到百級（100級）或以上就要使室內的潔淨氣流形成單向垂直流。就是說在潔淨棚內的氣流在同一截麵的任意一點氣流的方向和速度保持一致，這樣就可以使潔淨氣流象活塞一樣將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。要實現垂直流就要將高效過濾器布滿屋頂，才能實現單向垂直流，達到潔淨度100級或以上的級別。
而對於千級到十萬級的(1K-100K)潔淨棚：
其氣流組織方向和Class1-100潔淨棚不同，內部的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流和渦流，它主要靠潔淨的氣流不斷稀釋內部空氣，將內部的汙染逐漸排出，來實現潔淨效果。要實現潔淨棚的等級不同，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現的。
