不同等級的潔淨室潔淨度、通風高效空氣過濾器的關係，不同等級的潔淨室潔淨度、所使用的高效空氣過濾器的質量如果有了保證，通風參數(平均風速或換氣次數)是決定潔淨等級質量的關鍵因素。目前要求較為嚴格的潔淨室工程中所用的高效空氣過濾器一般都要求經過逐台檢測。（目前國內對於高效過濾器出廠檢漏很少）。國內可以開展潔淨室施工的單位成千上萬，所以對於各種潔淨室的換氣次數及平均風速的取值也有差別。換氣次數少，投資省，運行成本低，潔淨度上有風險。
一、潔淨室的空氣潔淨度，應進行下列測試
（一）空態、靜態測試
空態測試：潔淨室已竣工，淨化空氣調節係統已處於正常運行狀態，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態測試：潔淨室淨化空氣調節係統已處於正常運行狀態，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。
（二）動態測試
潔淨室已處於正常生產狀態下進行測試。
潔淨室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
二、空態、靜態測試
（一）測試前的準備
1. 應對潔淨室及其淨化空氣調節係統進行徹底清潔。
2. 采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內（或風管內）粒徑大於或等於0.5μm的塵粒數應為大於或等於30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然後開始檢漏。將粒子計數器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處，可以2-4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷麵封頭膠處和安裝框架處進行掃描。
當粒子計數器讀數為空氣口大於或等於0.5μm的塵粒超過3粒/分·升（或其穿透率大於0.01‰）即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。
（二）測試內容
1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等；
2. 潔淨室壓力值；
3. 層流潔淨室斷麵風速和氣流流向；
4. 潔淨工作區的潔淨度；
5. 室內溫度、濕度及其控製能力的調整測試；
6. 潔淨室內噪聲。
（三）潔淨工作區空氣潔淨度的測試方法
對於粒徑大於或等於0.5μm的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法，也可采用濾膜顯微鏡計數法。
光散射粒子計數法：
1. 光散射粒子計數器采樣量100級：每次采樣量大於或等於1升。1,000級-10,000級：每次采樣量大於或等於0.3升。100,000級：每次采樣量大於或等於0.1升。對於100級潔淨室，宜采用大流量粒子計數器進行測試；如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小於1升的粒子計數器。
向流潔淨室也稱”層流”或勻流潔淨室，這種潔淨室的平均風速至關重要，粉塵的自由擴散速度是0.15-0.2m/s,如果風速壓不住粉塵的擴散速度,即使使用效率再高的空氣過濾器也達不到預期的效果。
非單向流潔淨室，也稱亂流潔淨室，潔淨室靠送風來稀釋塵埃粒子，以達到一定的潔淨度要求。亂流潔淨室由於室內操作人員較多、生產過程中（如：設備、原材料等）發塵量也較大，高效空氣過濾器效率的高低並不是決定性因素。
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