潔淨室潔淨棚主要測試方法
潔淨室主要測試方法：
A.3.1風量或風速測試應符合下列規定:
1、潔淨棚對於單向流潔淨室,采用室截麵平均風速和截麵乘積的方法確定送風量,測點位於高效過濾器出風麵約150mm~300mm,垂直氣流處的截麵作為采樣截麵,截麵上測點間距不宜大於0.6m,測點數不應少於4點,所有讀數的算術平均值作為平均風速。
2、對於非單向流潔淨室,采用風口或風管法確定送風量,可按現行標準《通風與空調工程施工質量驗收規範》規定的方法執行.
A.3.2靜壓差測試應符合下列規定:
1、靜壓差的測定應在潔淨室(區)的風速、風量和檢測合格後進行,並應在所有的門關閉時檢測。
2、儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應小於1.0P.
A.3.3已安裝過濾器檢漏測試應符合下列規定:
1、檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。
2、在過濾器上風側應引入測試用氣溶膠,在過濾器下風側用光度計或粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表麵掃描速度移動,2cm~3cm處,以5mm/s15mm/s的掃描速度移動,並應注意安裝交接處的掃描。
A.3.4密閉性測試應用於確認有無被汙染的空氣從相鄰潔淨室 (區)或非潔淨室(區)通過吊頂、隔牆等表麵或門、窗滲漏入潔淨室 (區)。一般適用於1級至5級的潔淨室(區)進行測試。采用光度計法和粒子計數器法進行測試。
潔淨棚工作原理:
風機FFU從潔淨棚頂部將空氣吸入，經初效過濾器、高效過濾器過濾，過濾後的潔淨空氣在整個出風麵以0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔淨棚內。形成均流層，使潔淨空氣氣流呈垂直單向流，這樣就可以使潔淨氣流象活塞一樣將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走，從而保證了工作區內所要求的潔淨度。要實現潔淨棚的等級不同，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現的。
A. 3.5潔淨度的檢測應符合下列規定:
1、使用采樣量大於1L/min 的光學粒子計數器,在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用範圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書。
2、最少采樣點數應按下式計算:
NL= A0.5(A. 3. 5-1)
式中: NL–最少采樣點;
A–潔淨室或被控潔淨區的麵積(m²)。
3、采樣點應均勻分布於潔淨室或潔淨區的整個麵積內,並位於工作活動的高度,活動高度宜距地麵0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為 1min。
4、每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式
計算:
Vs =20/Cn.m * 1000 (A. 3. 5-2)
式中:Vs–每個采樣點的每次采樣量,以L 表示;當 Vs很大時,可使用順序采樣法;
Cn.m -被測潔淨室空氣潔淨度等級的被測粒徑的限值 (pc/m’);
20-在規定被測粒徑粒子的空氣潔淨度等級限值時,可測到的粒子顆數(pc).
5、當潔淨室或潔淨區僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次。
A.3.6對超出等級範圍粒子的檢測應符合下列規定:
1、在產品生產工藝有要求時,可按等級粒徑範圍之外的粒子濃度規定空氣潔淨度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶與建造商協商確定。
2、當需評價小於0.1μm的粒子造成的汙染危險時,應采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用U描述符說明超微粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔淨度等級的補充說明。
U描述符用“U(x,y)”表示,其中x為超微粒子的最大允許濃度(pc/m³),y為以微米計的粒徑。例如:粒徑範圍等於或大於0.01μm的最大允許超微粒子的濃度為140000 個/m³,應表示為“U(140000,0.01μm)”。
3、當需評價大於5μm的粒子造成的汙染危險時,應采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法。可獨立應用 M描述符說明大於5μm的粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔淨度等級的補充說明。
M描述符用“M(a,b);c”表示,其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m³),b為與規定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm), c為規定的測量方法。
例如:采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測,測量得到10μm~20μm粒徑範圍的懸浮粒子濃度為1000個/m³,則·39·用M描述符表示為“M(1000;10μm~20μm);多級撞擊采樣器、顯微鏡測定粒徑並計數”。
A.4監測
A.4.1按照雙方協議書的規定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監測。
A.4.2 雙方協議書中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、量時間間隔、被計數粒子的粒徑,以及粒子數的限值。
A.4.3 當監測結果超過規定的限值時,則應認定設施不符合要求,應進行修正;修正後應再進行認證檢測。當監測結果在規定限值內,可繼續監測。
A.5認證
A.5.1按雙方協議書的規定及第 A. 2 節的要求,按第 A.3 節的方法進行測試,當測試結果在規定的限值之內時,可認定該潔淨室符合規定要求,當測試結果超過規定的限值,可認定該潔淨室不符合要求,應進行改進,在完成改進工作之後,應進行再認證。
A.5.2記錄數據評價應符合下列規定:
1、在空氣潔淨度測試中,當測點在1點~10點時,應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值。
2、當采樣點超過10點時,應計算算術平均值,並按算術平均值進行空氣潔淨度等級的評價。
A.5.3 每次性能測試或再認證測試應做記錄,並應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容:
1、測試機構的名稱、地址。
2、測試日期和測試者簽名。
3、執行標準的編號及標準出版日期。
4、被測試的潔淨室或潔淨區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。
5、被測潔淨室或潔淨區的空氣潔淨度等級、被測粒徑、被測潔淨室所處的狀態、氣流流型和靜壓差。
6、測量用的儀器編號和標定證書,測試方法細則及測試中的特殊情況。
7、測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮遊菌的菌落數。
8、對異常測試值進行說明及數據處理。
9、注明上次的測試日期。
10、設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。
A.5.4 測試機構應提交潔淨室檢驗。
