高效空氣過濾器安裝後的檢漏要求 :
高效空氣過濾器安裝後的檢漏是確認安裝質量，檢測高效空氣過濾器送風口的整個麵，空氣過濾器的周邊，空氣過濾器外框和安裝框架之間的密封處。高效過濾器檢漏時，從過濾器的上風側引入測試氣溶膠，並立即在其下風側進行掃描。該項測試一般在潔淨室（區）的“空態”或“靜態”進行。
高效空氣過濾器安裝後的檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。光度計法一般用於帶小型空氣處理係統的潔淨室或安裝有氣溶膠注入點的管路係統，可達到規定的高濃度測試氣溶膠；由於粒子計數器法的靈敏性好和汙染少，一般都采用粒子計數器法進行高效空氣過濾器安裝後的檢漏。
采用光度計法進行掃描檢漏時，被測試的過濾器的最高穿透粒徑的穿透率等於或大於0.005%。所采用的測試氣溶膠不應對潔淨室（區）內的產品或工藝設施帶來影響。
在進行光度計法檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的80%至120%與之間運行，並確認其送風的均勻性。
被測試過濾器的上風向引入的氣溶膠的濃度應為10mg/m3至100 mg/m3。濃度低於20 mg/m3時，將會降低檢漏的靈敏度，而濃度高於80 mg/m3時，若長時間測試會造成過濾器的汙堵。在過濾器檢漏前應確認氣溶膠的濃度和均勻性。
檢漏掃描時，若采用3cm×3cm方形探管，掃描速度不得超過5cm/s，矩形探管的最大麵積掃描率不得超過15C㎡/s。在掃描過程中，若顯示有等於或大於限值的泄漏時，則應將探管停留在泄漏處。高效空氣過濾器的泄漏限值是指超過上風向測試氣溶膠濃度10-4的泄漏，或與業主協商確定。
采用粒子計數器法進行掃描檢漏時，被測試的空氣過濾器最高穿透粒徑的穿透率大於或等於0.00005%。不允許采用可能沉積在過濾器或管道上的揮發性油光塵的測試用氣溶膠。
在進行粒子計數器檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的70%至130%之間運行，並確認其送風的均勻性。
被測試過濾器的上風側應引入濃度均勻的大氣塵或添加含有其他氣溶膠的空氣，使之達到所需的測試氣溶膠濃度。對微粒大於等於0.5μm時，測試氣溶膠的濃度應大於等於3.5×105C/m3；對於大於等於0.1μm的微粒，其濃度應大於等於3.5×109PC/m3。
檢漏掃描時，采樣口距離被測部位應小於5.0cm，以0.05m/s的速度移動。空氣高效過濾器下風側測試得到的泄漏濃度換算的透過率，不得大於該過濾器出廠合格透過率的3倍。
安裝在管道或空氣處理機內的高效空氣過濾器的檢漏，檢測可采用光度計法或粒子計數器法。用於安裝在管道或空氣處理機內的最易穿透粒徑的穿透率大於0.005%的高效空氣過濾器的檢漏。
檢漏時，被檢測過濾器就在設計風速的70%~130%之間運行，並確認其送風均勻性。上風向引入的大氣塵或氣溶膠濃度應能滿足在下風向測試得到具有統計意義的讀數。
測試時，應將采樣口距離被測部位30cm至100cm處，在管道中應距管壁2.5cm，記錄實測的含塵濃度。
高效空氣過濾器檢漏的限值，采用光度計法時，不得超過10-4（0.01%）；采用粒子計數器法時，不得大於出廠合格透過率的3倍。
